激光晶体是激光技术当中的核心组件,可以将外界的能量转化为平行的光线,是激光晶体当中的主件。金刚石具有已知材料中最高的热导率,直接在激光晶体表面沉积金刚石膜,能够实现激光晶体传热能力的有效提升,相较于键合工艺大大降低了技术成本。
近期,晶体中心在激光晶体热管理方面取得进展。研究人员在之前的工作基础上,提出使用金属Cr过渡层在钛宝石上沉积金刚石多晶膜。Cr过渡层可以有效缓解金刚石和钛宝石之间的晶格失配以及热失配,提升界面结合能力。研究人员采用微波等离子体化学气相沉积技术(MPCVD)在钛宝石衬底上成功制备了51 μm完整、均匀的多晶金刚石膜,膜内应力为0.97 GPa,沉积金刚石膜后的钛宝石样品热膨胀系数提升了17%。同时,通过第一性原理计算揭示了界面处C-Cr键的形成。直接沉积金刚石技术有望在激光晶体热管理领域获得更为广泛的应用。
作为一直专注于宽禁带半导体材料研发、生产和销售,致力于成为全球领先的宽禁带半导体材料公司,化合积电采用MPCVD法制备高质量金刚石热沉片,并独特研发基于等离子体辅助研磨抛光的金刚石原子级表面高效精密加工方法,其产品热导率高达1000-2200W/m.k,是热管理领域中的新星,可应用于光通信,在激光二极管、功率晶体管、电子封装材料等。此外,还有核心产品金刚石基氮化镓、单晶金刚石和氮化铝薄膜、金刚石基氮化铝、硅基氮化铝和蓝宝石基氮化铝等,产品可应用于5G基站、激光器、医疗器械、大功率LED、新能源汽车、新能源光伏、航空航天和国防军工等领域。