CO2激光器是工业上常用的激光器之一,在加工、通信、雷达、化学分析、外科手术等领域有着重要应用。随着CO2激光器功率的提高,对输出窗口的要求越来越苛刻,目前常用的窗口材料ZnSe、GaAs会在机械应力以及热应力的作用下,发生畸变或者破碎,导致窗口失效、损坏。
高功率输出要求窗口必须具有高透过性、高热导率、热稳定性以及机械强度等综合性能。高质量CVD金刚石抗激光损伤峰值能量高达66J/cm2,峰值功率可达12.7MW/ mm2,同时金刚石有较高的透过率、极高的热导率和优异的机械性能,这使得金刚石几乎能完美地匹配高功率CO2激光器对窗口材料的需求。金刚石基片吸收激光能量的能力低,超高的热导率可以将热量导走,窗口温度低、热应力小、“热透镜”效应低、窗口使用性能优异。美国通用公司将金刚石膜做成大功率激光窗片,可承受高达200KW的CO2激光输出。
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