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金刚石热沉片,为GaN功率器件的超高热流热管理提供国际领先方案

时间:2025-11-04浏览次数:39

随着电子设备工作频率提升,雷达、氮化镓(GaN)功率器件等热流密度需求已达5-10kW/cm²),传统微通道散热器(MHS)散热能力仅<2 kW/cm²,存在严重热失控风险。

传统方案局限:基材硅、铜等传统基材导热率低(硅 148W/(m・K)、铜~400W/(m・K)),无法快速传导高热流;结构:毫米级微通道散热能力仅300W/cm²,且针翅单一导致流场扰动不足;性能:现有 MHS 热阻普遍>0.03 K. cm²/W,无法满足近结冷却的低阻需求。

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基于金刚石微通道散热器(MHS)的近结冷却技术,该技术采用创新的腰形针翅与圆柱形和翼型相结合,研究了边界条件和几何尺寸对传热的影响。

结果表明,低质量流量时,微通道内会产生热积聚,加剧热点温度的升高,而针翅的结构参数对热点温度的影响有限,但对流动和传热性能有显著影响,为使传热过程中的不可逆损失最小化,传热强化效果最大化,推荐的参数为:翼片角度为45 °,短轴长度为7 μm,距原点中心的距离为50 μm,以及腰形针翅数为16。

值得注意的是,与毫米级MHS相比,微米级MHS表现出33.3%的散热极限增加,这归因于尺寸效应。此外,复合针翅通过流动加速和二次流诱导增强传热。

这种方法实现了前所未有的MHS散热极限7300 W/cm²,该系列产品的传热系数提高到661.6 kW/m²·K,压降降低到132.4 kPa,总热阻降低到0.0059 K cm²/W,具有国际领先的性能,为氮化镓(GaN)功率器件的超高热流热管理提供国际领先方案。

化合积电是一家专注于宽禁带半导体材料研发、生产和销售的国家高新技术企业,核心产品有多晶金刚石(晶圆级金刚石、金刚石热沉片、金刚石窗口片、金刚石基复合衬底)、单晶金刚石(热学级、光学级、电子级、硼掺杂、氮掺杂)和金刚石复合材料等,引领金刚石及新一代材料革新,赋能高端工业化应用,公司产品广泛应用于激光器、GPU/CPU、医疗器械、5G基站、大功率LED、新能源汽车、新能源光伏、航空航天和国防军工等领域。

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