随着半导体封装技术从传统结构向异构集成(HI)、3D 封装等先进架构演进,多个小芯片(含 GPU、CPU、RAM 及传感器)被集成于单一封装体内,热管理的复杂性呈指数级提升。逻辑组件产生的热量易向周边内存、传感器等敏感部件扩散,而输入 / 输出互连密度从传统倒装芯片球栅阵列(FCBGA)的每 mm²48 个 I/O 跃升至硅中介层的每 mm²1000 个以上,进一步加剧了电流集中与散热路径受限的问题,导致界面热导率(ITC)降低和局部热量积聚。因此,构建从芯片到散热器的高效热传导体系,已成为先进半导体封装设计中决定系统性能与稳定性的关键环节。

TIM 作为芯片与散热器之间的关键连接层,其核心作用是填充接触面的微空隙,降低界面热阻。理想的 TIM 需同时具备高导热系数(HTC)与良好的机械柔韧性 —— 高导热系数确保热量高效传递,机械柔韧性则能适应芯片与散热器之间的热膨胀差异,减少热应力。通过在聚合物基体中掺入金刚石提升导热性能,同时优化材料的微观结构,在导热性与柔韧性之间实现平衡。此外,还满足电气绝缘、耐温性等封装要求,避免对器件造成额外影响。
基板是半导体封装的核心支撑结构,不仅承担着机械固定、电气互连的功能,还需具备高效的热传导能力。与 TIM 不同,基板的设计需同时兼顾高导热系数与低介电损耗 —— 高导热系数保障热量从芯片向散热器的快速传导,低介电损耗则确保信号传输的稳定性,避免信号干扰。金刚石复合材料替代传统基板材料,同时优化基板的层状结构与布线设计,在不影响电气性能的前提下提升热传导效率。此外,金刚石基板的热膨胀系数(CTE)与芯片、散热器保持匹配,以降低热循环过程中产生的机械应力,提升封装可靠性。
散热器是热量最终消散的关键组件,其性能直接决定了封装系统的散热极限。为最大化散热效果,散热器材料需具备极高的导热系数。其中,金刚石热沉片凭借优异的导热性广泛应用,在高功率、高密度封装中备受青睐。除了材料选择,散热器的设计优化也至关重要,包括增大散热面积、优化流道结构(针对液冷散热器)等。同时,散热器的热膨胀系数需与芯片紧密匹配,以减少热应力对封装完整性的影响。
除了单个组件的材料创新,界面工程和封装结构优化也是提升热管理效果的关键。界面热阻是影响整体热传导效率的重要因素,尤其在高密度封装中,组件间的界面数量增多,界面热阻的累积效应更为显著。因此,通过界面工程技术提升界面热导率(ITC)至关重要,常用方法包括优化接触面的平整度、采用表面处理技术增强界面结合力、选择适配的粘结材料等。在结构优化方面,核心思路是构建 “芯片 - TIM - 基板 - 热通孔 - 散热器” 的高效热传导路径,确保热量从产生源头到消散终端的无阻碍传递。例如,在 3D 封装中,通过合理布局小芯片的位置,将高发热组件(如 CPU、GPU)靠近热通孔和散热器,减少热量传递距离;在异构集成封装中,采用分层散热设计,为不同功率密度的组件配置专属散热通道。
随着半导体器件功率密度的持续增长,先进芯片封装的热管理已成为制约高性能、高密度系统发展的核心挑战。从芯片到散热器的热传导效率,直接决定了封装的性能与可靠性。先进的热表征技术为优化提供数据支撑,热界面材料、基板、散热器等核心组件的金刚石材料创新是基础,而界面工程与结构优化则是提升整体效率的关键。未来,半导体封装热管理的发展方向将聚焦于 “多性能协同优化”—— 在提升热传导效率的同时,进一步平衡机械可靠性、电气性能与成本;此外,随着人工智能、大数据等技术的融入,基于仿真模拟的精准热设计将成为主流,实现热管理方案的个性化定制。通过材料、结构、工艺与设计的全方位创新,有望突破当前热管理瓶颈,为先进半导体封装技术的持续演进提供保障。
化合积电是一家专注于宽禁带半导体材料研发、生产和销售的国家高新技术企业,核心产品有多晶金刚石(晶圆级金刚石、金刚石热沉片、金刚石窗口片、金刚石基复合衬底)、单晶金刚石(热学级、光学级、电子级、硼掺杂、氮掺杂)和金刚石复合材料等,引领金刚石及新一代材料革新,赋能高端工业化应用,公司产品广泛应用于激光器、GPU/CPU、医疗器械、5G基站、大功率LED、新能源汽车、新能源光伏、航空航天和国防军工等领域。