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金刚石热沉:突破先进封装散热极限

时间:2025-06-30浏览次数:11

随着电子设备向微型化、高性能化方向飞速发展,热管理问题已成为制约半导体技术进步的瓶颈之一。在先进封装领域,这一挑战尤为严峻,主要原因体现在以下几个方面:


器件性能与温度的直接关联:现代电子器件的功率密度呈指数级增长,特别是CPU、GPU及5G射频芯片等高性能半导体,其功率密度已突破100W/cm²。研究表明,结温每升高10-12℃,半导体器件的可靠性会骤降50%,同时漏源电流、增益和输出功率等关键参数也会显著退化。在氮化镓(GaN)功率器件中,温度升高还会导致“电流崩塌”效应,严重削弱其高频优势。热积累已成为制约第三代半导体(如GaN、SiC)性能发挥的核心因素。


先进封装结构带来的散热挑战:2.5D/3D封装通过硅中介层(Interposer)和硅通孔(TSV)技术实现芯片堆叠与高密度互连,虽然大幅提升了集成度和信号传输效率,但也带来了热堆积效应:


  • 中介层作为热传导关键路径,传统散热材料(如硅或玻璃)热导率不足(硅:150 W/m·K,玻璃:1-2 W/m·K),形成散热瓶颈。

  • 芯片堆叠结构使热量在垂直方向难以快速导出,底层芯片成为“热陷阱”。

  • 异质集成中不同材料的热膨胀系数(CTE)差异引发热应力,导致界面分层和可靠性下降。


金刚石热沉的技术优势

金刚石是自然界导热最佳材料,凭借其独特性能成为理想散热材料:


超高导热:单晶金刚石理论值2000W/m·K,多晶金刚石实际值1200-2200W/m·K。

低热膨胀:1.0×10⁻⁶/K(接近硅的2.6×10⁻⁶/K),减少热应力。

优异绝缘:电阻率>10¹² Ω·cm,适用于高电场环境。


具体应用案例:


低温键合:将金刚石衬底与芯片键合,缩短热传导路径。例如,将多晶金刚石衬底集成于2.5D玻璃转接板背面,显著降低结温。

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多晶金刚石衬底集成到玻璃转接板封装芯片背面及其散热性能表征


沉积金刚石膜:在芯片表面沉积金刚石钝化层,同时提升散热与保护性能。


发展路径与未来展望


短期突破方向:小尺寸高价值芯片优先,例如激光器、射频器件等;工艺创新方面,比如金刚石复合材料降低界面热阻。


长期技术路线:提升CVD沉积效率,开发大面积晶圆技术,成本下降;发展金刚石粉体复合材料,替代单晶方案;与先进封装协同,在3D封装中集成金刚石微通道,结合两相冷却技术。


金刚石凭借其极限热物理性能,将成为突破先进封装散热瓶颈的核心材料。未来,随着CVD成本下降及异质集成工艺不断成熟,金刚石热沉将成为3D IC、AI芯片、量子器件的标配散热方案,重塑半导体封装技术格局。


化合积电专注于金刚石热管理,以为激光芯片、GPU/CPU、功率半导体器件、航空航天等头部客户提供专业的热管理解决方案,助力金刚石热管理在高功率、高频、高温等特定领域,发挥无可替代的作用。

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