化合积电自主研发的金刚石光栅，以单晶金刚石/多晶金刚石为基底，通过高精度纳米加工技术，将光栅周期从传统微米级压缩至纳米级，并且成功控制精度误差。
这一突破解决了传统光栅在纳米尺度下衍射效率低、信号噪声比差的痛点，使光栅在X射线、深紫外（DUV）及太赫兹波段的衍射效率提升，较常规产品硅光栅有大幅度提升。
化合积电金刚石光栅的优势包括：
1.高衍射效率：通过优化光栅槽型结构（如三角形、矩形），实现对特定波长光束的精准操控。
2.宽光谱响应：支持从X射线到太赫兹的宽波段工作，满足多光谱传感需求。
3.高稳定性：金刚石基底的热导率是硅的5倍，热膨胀系数仅为硅的1/10，确保在极端环境下性能稳定。
