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突破金刚石散热难题:“自下而上”的方法助力器件工作时核心温度降低 23°C

时间:2026-03-06浏览次数:10

近期,莱斯大学的科研团队开发出一种可规模化制造的金刚石散热层技术,可将电子器件工作温度降低 23摄氏度,为高功率芯片散热提供新的工程路径。其研究团队提出的“自下而上”的金刚石生长方法,即通过在芯片表面直接构建图案化金刚石层,实现热量精准导出。

 

该技术核心采用微波等离子体化学气相沉积工艺,主要通过三个流程制作:利用光刻技术在芯片表面制作图案化 “模板”;铺设纳米金刚石 “晶核”,为晶体生长奠定基础;含碳气体在微波作用下转化为等离子体,碳原子沿晶核逐层生长,形成高效导热金刚石层。相比传统“自上而下”加工方式,这种新方法可避免材料损伤与高成本问题。目前,该技术已成功扩展至2 英寸晶圆制造规模,验证了规模化可行性。


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金刚石散热主要方法:

1.热沉片:将金刚石热沉片切割加工成特定形状后,紧密贴合在芯片表面,作为高效的“热量搬运工”将热量快速导出。这种方法工艺相对成熟,已应用于部分射频功率放大器和激光二极管等领域。

2.金刚石复合材料:金刚石复合材料是一种由金刚石颗粒与AgCuAI等高导热金属基体结合而成的高性能复合材料,结合了金刚石的超高热导性和金属材料的优良导电性,广泛应用于高功率电子器件的散热领域。

3.微通道冷却:在金刚石或金刚石复合材料中构建微米级的冷却通道,通过内部流动的冷却液实现高效散热。这种方法适用于高热流密度的功率器件,能有效控制温升,提升器件寿命。

4.化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜:通过微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)工艺,在芯片表面直接生长出图案化的金刚石散热层。它能在非金刚石基底(如硅、钨、陶瓷等)上制备出纯度高、热导率接近天然金刚石的薄膜材料,能有效实现规模化金刚石散热应用。

 

金刚石散热技术正处于“从01”走向“大规模渗透”的过程。虽然目前仍面临不少挑战,但在AI算力爆发和技术发展的双重驱动下,未来,它会在芯片封装、AI服务器和新能源汽车等方面继续发挥重要作用。


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